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供气系统
通过6″PLC触摸屏对ALD蒸汽脉冲时间、气体流量等参数进行设定控制
可控制2个ALD阀门的脉冲时间以及循环次数（毫秒级）
可控制4通道的气体流量（4通道质子流量计，重复精度±0.2%F.S）
四通道质子流量计控制系统可用于4路气体的通入和混合
流量范围:
一路: 1~100 SCCM
二路: 1~200 SCCM
三路: 1~200 SCCM
四路: 1~500 SCCM
注意：其他流量范围的可定制，需额外费用
工作温度：5~45ºC 耐压: 3Mpa
准确度: ±1.5% FS 线性: ±1 %F.S.重复精度: ±0.2%F.S.
ALD进气阀
2个ALD脉冲电磁阀（最小可在10ms完成阀门的开启或关闭）
工作压力范围：真空至145PSI；
流量系数：CV 0.27；
阀门状态：常闭；
螺纹接口：内螺纹VCR接头
液体气相发生器
包含在本系统中并且连接到ALD进气阀
通过蠕动泵实现液体的精密推送
精密液体气相发生器：流量范围: 0.007 - 7 ml/minute （可调）；转速：0.1-100 rpm（可调）；
精密液体气相发生器精度：流量范围：0.7-7ml/min 精度：±1%；流量范围：0.14-0.35ml/min 精度：±5%；流量范围：0.007-0.07ml/min 精度：±10%；
不锈钢罐：安装于壳体中和壳体外，工作温度: 50 ºC -450 ºC，二次加热管工作温度50 ºC -200 ºC，材质316不锈钢；30段程序化控温，控温精度+/- 1 ºC；精密液体气相发生器罐体尺寸：大罐φ40*125mm，小罐φ18*100mm
双温反应炉
· 连续工作的最高温度为1100℃
· 两个温区由两个独立的温控系统来控制，而且都为PID50段程序化控温
· 每个加热区长度为200mm，加热区总长度为400mm
· 如两区域加热至同一温度时，恒温区长度为200mm
· 炉管尺寸：外径80mm
· 带滑动功能
· 输入电压：208-240V AC，单向
· 最大功率为4KW
单温预热炉
最高工作温度：1200℃（<30min）
连续工作温度：1100℃
50段程序化控温
加热区长度为440mm，恒温区长度为150mm
石英管尺寸：外径: 80
带有一对已安装截止阀的真空密封法兰
输入电源:：208 – 240V AC ,
最大功率：3.1KW
防腐型数显真空计
· 测量范围：3.8x10-5 -1125 Torr
· 耐腐蚀
· 对于气体的压力检测具有较高的精确度和重复性
· 可实现快速的气体监测，响应时间较短
· 易于更换插头及传感元件
等离子射频电源· 输出功率: 5 -500W ± 1%
· 射频频率: 13.56 MHz ±0.005%
· 反射功率: 最大 100W
· 匹配: 自动
· 射频接口: 50 Ω, N-type
· 噪音: <50 dB
· 冷却: 风冷
· 电源: AC 208-240V、 50/60Hz
真空系统JXB-12
管内真空度可达10-2Torr，含PE油雾过滤器
尾气处理装置
KYS-1100C-S
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- 详细描述：
质保期
一年保质期，终身维护（不包含炉管，加热元件和密封圈）
注意事项
· 炉管内气压不可高于0.02MPa（相对气压）；
· 由于气瓶内部气压较高，所以向石英管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，为了确保安全，建议使用压力低于0.02MPa，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全；
· 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）
· 我们不建议客户使用易燃易爆和有毒的气体，如果客户工艺原因确实需要使用易燃易爆和有毒气体，请客户自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体而造成的相关问题，本公司概不负责。
· 气体的流量应＜200SCCM（200ml/min）
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